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半导体车间废气处理设备的选择标准

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  半导体制造过程中使用的气体大多具有可燃性、自燃性、腐蚀性等特性,在排放到大气之前需要通过废气处理设备去除这些气体,这需要在大多数半导体厂制造车间中使用专门用于管理和处理工艺废气的设备,接下来为大家分享半导体车间废气处理设备的选择标准。
  (1)半导体生产车间废气处理设备的选择是根据待消除气体的种类、浓度、流量和压力,减排设备的处理能力,综合考虑农药的寿命、前后与设备的关系等多种情况,挑选合适的处理方法和设备。
  (2)半导体生产车间废气在混合时将会爆炸、起火或造成有害物的气体,废气处理设备应该是一个独立的系统。
  (3)可能有自燃性气体或可燃气体流动的排风管道,采用不燃材料。
  (4)不可以让半导体生产车间规定的废气以外的废气流动,或大量废气流动超出废气处理设备的处理水平。
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