半導體車間廢氣處理設備的選擇標準

　　半導體制造過程中使用的氣體大多具有可燃性、自燃性、腐蝕性等特性，在排放到大氣之前需要通過廢氣處理設備去除這些氣體，這需要在大多數半導體廠制造車間中使用專門用于管理和處理工藝廢氣的設備，接下來為大家分享半導體車間廢氣處理設備的選擇標準。
　　(1)半導體生產車間廢氣處理設備的選擇是根據待消除氣體的種類、濃度、流量和壓力，減排設備的處理能力，綜合考慮農藥的壽命、前后與設備的關系等多種情況，挑選合適的處理方法和設備。
　　(2)半導體生產車間廢氣在混合時將會爆炸、起火或造成有害物的氣體，廢氣處理設備應該是一個獨立的系統。
　　(3)可能有自燃性氣體或可燃氣體流動的排風管道，采用不燃材料。
　　(4)不可以讓半導體生產車間規定的廢氣以外的廢氣流動，或大量廢氣流動超出廢氣處理設備的處理水平。